外形尺寸 | 145081100*1850 | 电极面积 | 530*700 |
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仓体结构 | 合金铝,400升 | 匹配器 | 0-2500W |
等离子去胶机产品特点
采用电感耦合高密度等离子体(ICP),能快速去除晶圆上之残留光阻(光刻胶),达到晶圆表面洁净,具有蚀刻率高,无电极污染,离子能量低,不损伤基板等优点。
等离子去胶机应用产业
.残余光阻去除
.蓝膜残胶去除
.PSS 来料清洁制程
频率13.56MHZ,功率0-1000W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
◆ 控制系统
PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)
台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器
◆ 充气系统
美国MKS高精度电子质量流量计(四路气体配制)
美国世伟洛克SWAGELOK气体管路及接口组件,德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件
等离子清洗机有几种称谓,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。
等离子清洗机 / 等离子刻蚀机 / 等离子处理机 / 等离子去胶机 / 等离子表面处理机
等离子清洗-等离子处理-等离子刻蚀-等离子去胶-等离子活化- 等离子表面处理
GDR-PLASMA 招远普斯玛等离子技术有限公司成立于1995年,是专业从事真空及大气等离子清洗机、等离子处理机、等离子刻蚀机、等离子去胶机、等离子灰化机、等离子表面处理机、等离子表面处理设备,射频及微波等离子体技术研发、推广、销售于一体的高新技术企业,隶属于戈德尔等离子科技(香港)控股有限公司,总部设于香港 。
招远普斯玛,作为等离子清洗机/等离子处理机/等离子刻蚀机/等离子表面处理机专业制造企业,是ISO9001认证企业,公司拥有世界的低压、常压等离子清洗及等离子表面处理技术,并有完备的生产加工设备,可为客户提供特殊定制服务及最短交期,已成为国内规模化生产能力的全系列等离子清洗机、等离子处理机及等离子表面处理设备公司。
等离子清洗机有几种称谓,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。通过其等离子表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。