外形尺寸 | 1450*1100*1850mm | 仓体结构 | 合金铝,400升 |
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电极面积 | 530W*700DMM | 等离子发生器 | 13.56MHZ |
>> 产品特点
WB600采用专利高密度微波等离子技术,用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理,微波等离子高度活性、高效,且不会对电子装置产生离子损害。
微波等离子体系统是下列用途的理想方式:
·等离子体表面改性
·有机物表面等离子体清洁
·邦定强度增强
·等离子体刻蚀应用
·等离子体灰化应用
·增强或减弱浸润性
·其它等离子体系统应用
微波等离子清洗在封装工艺中的应用:
·防止包封分层
·提高焊线质量
·增加键合强度
·提高可靠性,尤其是多接口的封装
·提高产能
·节约成本
GDR等离子清洗设备的优势:
·先进微波技术
·无电极等离子发生器和高密度自由基使料盒内部清洗处理达到高度一致性
·定制等离子反应器
·气体输入和泵速的控制
·离子密度高,一致性好
·在线兼容
·优化加工条件
等离子清洗机 / 等离子刻蚀机 / 等离子处理机 / 等离子去胶机 / 等离子表面处理机
等离子清洗-等离子处理-等离子刻蚀-等离子去胶-等离子活化- 等离子表面处理
GDR-PLASMA 招远普斯玛等离子技术有限公司成立于1995年,是专业从事真空及大气等离子清洗机、等离子处理机、等离子刻蚀机、等离子去胶机、等离子灰化机、等离子表面处理机、等离子表面处理设备,射频及微波等离子体技术研发、推广、销售于一体的高新技术企业,隶属于戈德尔等离子科技(香港)控股有限公司,总部设于香港 。
招远普斯玛,作为等离子清洗机/等离子处理机/等离子刻蚀机/等离子表面处理机专业制造企业,是ISO9001认证企业,公司拥有的低压、常压等离子清洗及等离子表面处理技术,并有完备的生产加工设备,可为客户提供特殊定制服务及最短交期,已成为国内规模化生产能力的全系列等离子清洗机、等离子处理机及等离子表面处理设备公司。
本公司有多名经验丰富的技术人员,先进的生产设备,可根据您的生产需求制作各类非标等离子清洗设备
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